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晶體爐上傳動部件1
- 產品分類：單晶硅爐上下傳動部件
- 全國咨詢熱線：
- 073122870122
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籽晶在爐內有效行程
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2800mm
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上 傳 動
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籽晶轉速范圍
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2.0~30.0rpm
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慢速：0.20~8.00mm/min
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籽晶拉速
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快速：＞500mm/min
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晶升速度精度
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＜2%
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動 態 精 度
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晶轉速度精度
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＜2%
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晶升爬行
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升速0.5mm/min≤0.01mm
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籽晶擺動量
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晶轉高轉速＜2mm
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