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晶體爐下傳動部件1
- 產品分類：單晶硅爐上下傳動部件
- 全國咨詢熱線：
- 073122870122
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坩堝在爐內有效行程
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400mm
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下 傳 動
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坩堝轉速范圍
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1.0~20.0rpm
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慢速：0.020~1.000mm/min
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坩堝升速
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快速：＞100mm/min
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動 態 精 度
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堝升速度精度
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＜2%
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堝轉速度精度
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＜2%
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堝升爬行
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升速0.05mm/min時≤0.01mm
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運行時坩堝桿頂端圓跳動
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≤0.02mm
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在線QQ
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